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PI紧密六自在度利用真空情况典范案例

 
        在ANKA同步辐射装配(卡尔斯鲁厄,德国)的NANO光束线中,同步辐射的X-射线衍射和反射可用于研讨薄膜在真空前提下的布局属性,这也是古代资料研讨的一局部。
 
        为了在光束线中间接利用,开辟了一体化体系,此中脉冲激光用于将固体靶材带到气相中,而后使其堆积作为衬底上的一层。光束线PLD体系的特色是激光加热(可将衬底加热至1200摄氏度)和简洁加载。一个特别特点是:因为样本支配器的尺寸小,即便衬底高度较低,也可完成X-射线的较宽角度规模。
PI紧密六自在度
PI六自在度利用同步光束停止脉冲激光堆积(PLD)原位表征
 
       在同步光束停止脉冲激光堆积(PLD)原位表征中,由PI设想的用于高真空的紧密六自在度平台可绝对入射X-射线定位样本,即10 毫米 × 10 毫米的衬底,使样本能够0.001度的分辩率绕X和Y轴倾斜±5度。另外,为了弥补层厚度差,它可沿Z 轴(即垂直于样本外表的标的目的)停止挪动,最大挪动量为3毫米。同时,体系沿X和Y轴标的目的的挪动量可达 ±6毫米,从而能够扫描到 样本外表的差别地位。紧密六自在度牢固在转台上,须要时可履行进一步的定位使命。
 
       在瑞典MAXlab的贮存环MAX II处,光束线I811公用于经由过程X-射线接收光谱停止资料迷信研讨和外表迷信X-射线衍射尝试。
PI紧密六自在度
PI紧密六自在度为X-射线衍射尝试定位真空室
 
供给一个多用处衍射仪用于外表、界面、薄膜和普通X-射线散射尝试。一个H-850(之前为M-850)规范紧密六自在度平台装配在衍射仪上,用于将真空室与光束中的样本瞄准。因为其具备六个自在度,可在肆意标的目的上定位20至50公斤的真空室,且反复精度小于1微米。

 

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此文关头词:PI六自在度,真空六自在度

六自在度